molbloc-S 音速喷嘴流量元件

主要特性

气体流量可达 6,000 slm。
可扩展 molbloc/molbox™ 校准系统的量程，并且为中高流量提供出众的准确度。
使用配备 4.0 或更高版本嵌入软件的 molbox1 终端，以及所有 molbox1+ 终端。

产品概述: molbloc-S 音速喷嘴流量元件

特性一览

对于 N2 和空气，覆盖高达 5,000 slm 的量程
可与 molbox1+ 或现有的 molbox1 和 molbox RFM 质量流量终端以及 COMPASS 软件结合使用
重量校准支持可靠的流量文氏管（音速）喷嘴操作原则
污染物敏感度极低
测量不确定度：
对于 molbox1+，可达到 ±0.125% 读数
对于 molbox1，可达到 ±0.2% 读数
对于 molbox RFM，可达到 ±0.5% 读数
可以使用空气、N2、Ar、He 和其他校准气体，可以对环境气体进行潮湿气体密度补偿
利用 molbox1+S 或其他 molbox 型号加上真空，可实现量程可调性（10:1 调节）。
冗余的上游绝压测量使用 molbox 绝压传感器来降低不确定度并提高可靠性
完整的气体温度调节和测量
连续、实时的读数，就像传统的 molbloc-L 层流元件一样
可以实现全自动

molbloc-S 量程

通过 molbloc-S 的质量流速可直接与上游绝压以及独立的下游压力或压力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的压力到流量转化率 K_F 定义。K_F 的单位为 sccm/kPa，它定义了质量流量与传送到 molbloc-S 的上游绝压之间的关系。molbloc-S 校准工作是针对与 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游压力相对应的量程执行的。

为了使流量测量有效，molbloc-S 文丘管喷嘴处的流量很重要，例如，气体速度等同于本地音速。当背压率足够低时可以达到关键流量，或保持 BPR 不变（molbloc-S 下游绝压除以上游绝压）。关键流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之间，具体取决于流量的雷诺数。

由于通过 molbloc-S 的质量流量与上游绝压成比例，molbloc-S 的流量量程在应用中的限值受 BPR 限值的影响。要使 molbloc-S 元件的量程最大化，必须在下游连接一个真空泵，减少流动时的下游压力。当下游压力足够低时，就可以将上游压力以及质量流速调节到针对 molbloc 校准类型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大气压作为下游（无真空泵），则molbloc 所使用的上游压力必须介于其校准类型的最大压力到当 BPR 等于当前雷诺数下的 BPR 限值时的最小压力之间。molbox1 终端包括了一些功能，可测量 BPR，在 BPR 值过高时自动提示操作人员，避免在流量非关键时进行测量。

产品规格: molbloc-S 音速喷嘴流量元件

molbloc/molbox 通用技术指标
	molbox1+	molbox RFM 除非另行说明，否则所有技术指标均与 molbox1 相同。
正常工作温度范围：	15 到 35°C
储存温度范围：	-25 到 35°C
正常工作压力范围：	20 到 200 kPa 绝压（3 到 30 psia）；或 50 到 500 kPa 绝压（7 到 70 psia）上游；或 200 到 2000 kPa（30 到 300 psia），仅适用于 molbox1+S。
总流量量程：	<1 到 5,000 slm
入口连接： 1E1-S 到 1E2-S 2E2-S 到 2E3-S 5E3-S 和 1E4-S	1/4 in. VCR™ 1/2 in. VCR™ 1 in. VCR™ 或 1 in. NPT
出口连接： 5E1-S 到 2E3-S 5E3-S、1E4-S	16 mm (3/4 in.) ISO-KF 型真空法兰盘 40 mm (1 1/2 in.) ISO-KF 型真空法兰盘
支持的气体：	氮气 (N2)、干空气、潮湿空气、氩 (Ar)、一氧化碳(CO)、氦 (He)、氧气 (O2)、二氧化碳 (CO2)、四氟化碳 (CF4)、乙烷 (C2H6)、乙烯 (C2H4)、三氟甲 (CHF3)、六氟乙烷 (C2F6)、氢气 (H2)、甲烷 (CH4)、一氧化二氮 (N2O)、丙烷 (C3H8)、六氟化硫 (SF6)、丁烷 (C4H10)、八氟环丁烷 (C4F8)、氙气 (Xe)
流量测量
范围：	取决于 molbloc 的尺寸和压力校准量程（请参阅 molbloc-S 量程表格）
所需背压率：	0.4 到 0.9，取决于雷诺数
校准气体：	标准：干空气可选：N2（取代标准空气校准或作为补充）、Ar、H2、He、N2O。有关这些气体和其他气体在特定量程内的可用性，请咨询厂家。 *湿空气操作需要进行干空气校准
molbloc-S 压力校准量程：	低压力 (LP)： 20 到 200 kPa 绝压（3 到 30 psia），上游标准压力 (SP)： 50 到 500 kPa 绝压（7 到 70 psia），上游高压力 (HP)： 200 到 2 MPa 绝压（30 到 300 psia），上游 * HP 校准仅适用于 molbox1+S 终端 * 流量测试技术指标在 10% 到 100% molbloc 量程内有效
分辨率：	±0.0015% FS	±0.01% 读数
精确度：	读数的 ±0.06％	±0.30% 读数
预测的稳定度（一年期）	读数的 ±0.05％	读数的 ±0.2％
测量不确定度	读数的 ±0.2％特级校准：±0.125% 读数	50 到 500 kPa 时，±0.5% 读数

型号: molbloc-S 音速喷嘴流量元件

1E1-S

KF [sccm/kPa]: 10

每个 molbloc-S 在交付时都附带以下内容：

molbloc-S 流元素
运输和存储箱
用于上游连接的可重复使用的柔软 VCR O 形圈；ISO-KF和安装说明；用于 molbloc 下游连接的 ISO-KF 样式定心环、夹具和超压环；安装说明
标准压力 (SP) 的标准不确定性校准，并具有空气和经认证的校准报告。